最大出力20 A、測定6½桁の高性能SMU
直流電圧・電流源/モニタ 6254
最大出力20Aが可能な低ノイズで高性能なSMUを新発売。発生分解能5½桁、測定分解能6½桁、基本確度±0.02%の高精度を実現しています。
半導体およびその他電子部品の研究開発での評価用電源として、また特性システム用の電源として幅広くご利用いただけるSMUです。
- 発生/測定範囲 電圧:0 ~ ±20 V、電流:0 ~ ±20 A
- 発生 5½桁、測定 6½桁
- 最小パルス幅 25 µsの高速パルス発生
- 可変スルー・レート機能(10.00 V/s ~ 99.99 kV/s)
- 可変積分機能を搭載
- シンク可能なバイポーラ出力
- ツインA/Dコンバータにより電圧と電流が同時測定可能
- USB/GPIBを標準装備し、LAN/RS232のオプションあり