異種材ウェーハも非加熱で接合!
常温ウェーハ接合装置
近年、パワー半導体、5G用フィルタ分野で注目されているSiC、GaN、LT、LNなどの化合物半導体材料を異種材料と接着剤を介さずに直接接合が可能です。異種材を接合できることにより、今までにはない機能・特性を素材に持たせることができます。デモ試験も承っております。
企業名 ニデックマシンツール(株)
URL https://www.nidec.com/jp/machine-tool/
TEL 077-501-3831
  • 2023年6月