ナノメートル位置決め自動ステージ
1nmフィードバックステージ
1nmの超高分解能で位置決めができるフィードバックステージシステムです。
”自社開発した光学式リニアエンコーダ及び電子回路”と、”独自のアルゴリズムを用いた組込みソフトウエア”によりフィードバック制御することで、今まで達成が困難だった1nm以下の超高精度位置決め制御を可能としています。
- ソフトウエア、電子回路、光センサー、位置決め機構など全て社内設計・生産
- 独自アルゴリズム組み込みソフトウエアによる1nmのフィードバック制御
- 自社開発した光学式リニアエンコーダ及び電子回路による超高分解能位置決め
- 超精密位置決めステージ機構部社内生産
- 半導体関連、光デバイス関連、光計測装置、バイオ分野、メディカル分野、量子分野など様々な用途で利用
| コントローラ部 |
800,000円（税込） |
| ステージ部 |
700,000円（税込） |
