デバイスの品質を確保する
高精度質量ガス分析装置
半導体デバイス、車載用MEMSセンサー、ウェハー基板などの真空封止部分、あるいは積層間部分にガスが混入、残留すると著しい品質劣化を招きます。その課題を解決する当社の高精度質量ガス分析装置WATMASS-MPH GA Systemはどんな微小なガスも検知し、デバイスの品質管理に貢献します。
- 分析部、分析室を超低ガス放出な0.2% BeCuで構成
- He による気密および、破壊分析
- E-15Pa・m3/Sec(He)の極微小リークの検出
- 到達真空度：E-8Pa以下
- 超微小リーク校正ユニット(産総研よりライセンス)による検証済(He)
- 100/200/300 amu FC/EM センサー
キャンペーン情報
デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】 当社のラボにてサンプルをお預かりして受託分析サービスを行います。
アプリケーション例（蓄積法）
破壊分析
●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
非破壊分析
●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定
こんな評価におすすめです。
・プロセス評価
・デバイスの品質管理、品質解析
・分析装置導入前の評価、条件出し
受託分析サービスを是非ご活用ください。
